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在電科裝備離子注入機裝配調(diào)試凈化區(qū)，滿滿排列著數(shù)臺待調(diào)試設(shè)備，工程師們正緊張有序地忙碌著。
隨著首臺高能離子注入機進入調(diào)試階段，電科裝備實現(xiàn)了中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及三代半導(dǎo)體離子注入機全譜系產(chǎn)品創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解了我國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。
這是電科裝備澎湃向前的一個縮影。在集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略機遇期，電科裝備瞄準(zhǔn)高端裝備主戰(zhàn)場，以“四新”引擎，持續(xù)壯大發(fā)展新動能，交出“硬核”成績單。
突出強軍首責(zé)，補鏈強鏈能力實現(xiàn)新跨越。落實習(xí)近平總書記“只有把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手中，才能從根本上保障國家經(jīng)濟安全、國防安全和其他安全”的指示批示精神，落實集團公司黨組“三四六八”總體要求，電科裝備充分認(rèn)識到，作為集成電路產(chǎn)業(yè)基石，集成電路高端制造裝備就是最關(guān)鍵最核心的國之重器，沒有自立自強的集成電路制造裝備，就沒有我國集成電路的未來。聚焦高端裝備“卡脖子”問題，電科裝備加快推進紅外器件工藝裝備和第三代半導(dǎo)體核心工藝裝備自立自強，截至目前，所有項目均按節(jié)點推進。
第三代半導(dǎo)體是5G通信、新能源汽車、數(shù)據(jù)中心等產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，電科裝備聚焦產(chǎn)業(yè)鏈的薄弱環(huán)節(jié)，成體系布局第三代半導(dǎo)體裝備，成功推出SiC外延設(shè)備，與性能不斷優(yōu)化的高溫離子注入機、高溫退火爐和高溫氧化爐形成局部成套能力。
深化創(chuàng)新驅(qū)動，關(guān)鍵核心技術(shù)取得新進展。電科裝備堅持目標(biāo)導(dǎo)向、問題導(dǎo)向，把科技創(chuàng)新和關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)作為重大任務(wù)，集中優(yōu)勢資源，加快提升關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控能力。
面向國家戰(zhàn)略需要，自主研發(fā)的CMP設(shè)備成功進入客戶現(xiàn)場驗證，各項測試數(shù)據(jù)良好。圍繞產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈，全系列晶圓清洗干燥技術(shù)達到國際先進水平，形成了槽式清洗設(shè)備、單片清洗設(shè)備、甩干設(shè)備和晶圓電鍍設(shè)備四大產(chǎn)品系列，在國內(nèi)第二、第三代化合物半導(dǎo)體市場牢牢占據(jù)著主導(dǎo)地位，有力支撐了我國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全。瞄準(zhǔn)光器件“卡脖子”難題，自主研制的全自動多芯片共晶貼片設(shè)備成功填補國內(nèi)空白，可完全替代人工進行多芯片共晶焊接貼片，滿足5G應(yīng)用場景高速發(fā)展對更大的傳輸容量和更快傳輸速率的新要求。
支撐自立自強，高端裝備產(chǎn)業(yè)化邁出新步伐。面對錯綜復(fù)雜的國際環(huán)境帶來的新矛盾新挑戰(zhàn)，電科裝備立足支撐我國高水平科技自立自強，著力提升高端裝備產(chǎn)業(yè)化能力，加快補齊產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈短板弱項。
高能離子注入機銷售實現(xiàn)零突破，各型離子注入機新簽合同同比增長400%。200mm CMP設(shè)備國內(nèi)市場占有率達到70%，成為知名集成電路制造企業(yè)唯一置換率100%的國產(chǎn)設(shè)備。全自動減薄設(shè)備相繼打入大客戶生產(chǎn)線，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)減薄設(shè)備在國內(nèi)大尺寸硅材料片領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全系列化應(yīng)用，核心零部件100%擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。服務(wù)國家“碳達峰、碳中和”，成功發(fā)布我國首款超大產(chǎn)能異質(zhì)結(jié)專用PVD設(shè)備，產(chǎn)能達到8000片/小時；光伏裝備覆蓋行業(yè)前十客戶訂單，發(fā)貨量同比增長204%，再創(chuàng)歷史新高。平板顯示設(shè)備、傳感器、熱工裝備訂單上半年均實現(xiàn)兩位數(shù)增長，呈現(xiàn)多點開花、加速發(fā)展的態(tài)勢。中國電科土耳其光伏項目一期500MW全產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)項目順利完成驗收，二期500MW項目進展順利，豎起全球光伏整線高端裝備的“中國名片”。
全面深化改革，重點領(lǐng)域改革取得新突破。堅持高標(biāo)準(zhǔn)、高起點謀劃改革發(fā)展“路線圖”，電科裝備落實“使命引領(lǐng)型”戰(zhàn)略規(guī)劃編制方法，完成“十四五”規(guī)劃文本編制。聚焦“產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)”板塊，牽頭開展重大工程論證，為集團公司整體規(guī)劃的編制提供了有效支撐。制定下發(fā)“雙百行動”實施方案（2021-2022年）及工作清單，確保年底前完成70%總體任務(wù)目標(biāo)。
落實“國家利益最大化、融資最大化、市值最大化、可持續(xù)發(fā)展”要求，打造“具有全球競爭能力的集成電路裝備旗艦公司”，采取“核心裝備整合+X業(yè)務(wù)混改”的靈活機動戰(zhàn)術(shù)，推動爍科中科信和爍科精微整合工作。加快濕法設(shè)備業(yè)務(wù)整合，以虛擬公司模式運轉(zhuǎn)，按照上市公司財務(wù)制度加強虛擬公司的財務(wù)規(guī)范性。
站在第二個百年奮斗目標(biāo)的新起點，電科裝備正闊步啟新程，以創(chuàng)新為矛，進擊未來。
